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浙江大學(xué)精密工程與微納技術(shù)研究所

  1. 基礎(chǔ)概況

    • 學(xué)科依托強(qiáng)勁:作為流體動力與機(jī)電系統(tǒng)國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室的主要組成單位,研究所所屬的機(jī)械電子工程學(xué)科是國家重點(diǎn)學(xué)科,所在的一級學(xué)科機(jī)械工程更是入選國家 “雙一流” 建設(shè)學(xué)科,招生方向涵蓋機(jī)械電子工程,面向博士生等高層次人才開展招生培養(yǎng)工作。

    • 師資配置優(yōu)質(zhì):研究所現(xiàn)有教授 7 人、研究員 2 人、副教授 2 人等一批高水平師資,且全員擁有國內(nèi)外知名高校博士學(xué)位。團(tuán)隊(duì)中包含 2 名國家級重大人才工程項(xiàng)目入選者、4 名該類青年項(xiàng)目入選者,像所長劉濤教授、研究方向?yàn)槲⒓{測量的居冰峰教授、專注光刻機(jī)浸液控制系統(tǒng)研究的付新教授等,均是領(lǐng)域內(nèi)頗具影響力的學(xué)者。此外目前還有 100 余名博士和碩士研究生在此開展課題研究,科研團(tuán)隊(duì)梯隊(duì)完整。

  2. 核心研究方向imnp.zju.edu.cn

    研究所聚焦精密工程與微納技術(shù)的核心及前沿領(lǐng)域,研究方向覆蓋多個(gè)關(guān)鍵賽道,且緊密對接高端制造需求。具體包括光刻機(jī)浸液系統(tǒng)、面向微納制造的流體部件及超精密加工與測量技術(shù);微納器件與系統(tǒng)集成、MEMS 與微納制造技術(shù);外骨骼機(jī)器人、運(yùn)動康復(fù)機(jī)器人等相關(guān)的傳感與驅(qū)動應(yīng)用技術(shù);還有人工心臟、新型精密氣動元件及系統(tǒng)等,部分研究成果可直接服務(wù)于集成電路、高端裝備等核心產(chǎn)業(yè)。

  3. 學(xué)術(shù)與人才培養(yǎng)活動

    研究所長期以青年學(xué)術(shù)論壇為重要交流平臺,至今已連續(xù)舉辦多屆。例如 2024 年第七屆論壇邀請了華中科技大學(xué)陳修國教授等專家,圍繞 IC 納米結(jié)構(gòu)測量、高端光刻裝備等主題作特邀報(bào)告,還通過博士生口頭報(bào)告、學(xué)術(shù)墻報(bào)展示等形式促進(jìn)交流,并評選最佳報(bào)告與墻報(bào)獎(jiǎng)項(xiàng);2022 年第五屆論壇中,項(xiàng)榮教授帶來 “原子尺度制造與原子精度表征” 的專題報(bào)告,17 位青年研究人員通過墻報(bào)展示科研成果。這類活動不僅營造了濃厚的學(xué)術(shù)氛圍,還助力人才成長,曾有論壇優(yōu)秀報(bào)告獲得者后續(xù)入職研究所成為引進(jìn)人才。

  4. 核心成員研究特色

    團(tuán)隊(duì)成員研究各有側(cè)重,形成了多元且互補(bǔ)的科研布局。比如謝金副所長深耕微機(jī)械電子系統(tǒng)與微傳感器技術(shù);陳遠(yuǎn)流研究員專注智能精密微納制造與精密機(jī)電系統(tǒng)集成;劉偉庭副教授聚焦柔性觸覺傳感器與穿戴式測量技術(shù),毛凱等助理研究員則主攻集成電路流體測控元件研究,不同方向的協(xié)同發(fā)力推動了研究所整體科研實(shí)力的提升。



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