1. 油封式旋轉(zhuǎn)真空泵

在各種類型的真空泵中，由于其排量大、極限壓力高且價(jià)格適中，油封式旋轉(zhuǎn)真空泵是最常用的。根據(jù)泵體設(shè)計(jì)的不同，這種類型的真空泵有很多變體，統(tǒng)稱為旋轉(zhuǎn)式真空泵。

油的作用是潤滑軸承并提高氣缸內(nèi)的密封性能。旋轉(zhuǎn)式油封真空泵有多種類型，包括旋片式、凸輪式和活塞式設(shè)計(jì)。這些泵可以輕松達(dá)到約 0.1 Pa 的中等真空度。

旋片式油封旋轉(zhuǎn)真空泵的

結(jié)構(gòu)中，葉片安裝在置于內(nèi)部圓筒內(nèi)的轉(zhuǎn)子上。當(dāng)葉片將氣體分割成一個(gè)個(gè)小腔室時(shí)，隨著轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)，氣體被排出，從而降低壓力。

在凸輪式油旋

真空泵中，位于圓柱形定子中心的偏心轉(zhuǎn)子的一部分在與定子接觸的同時(shí)旋轉(zhuǎn)。滯留在定子和轉(zhuǎn)子之間間隙中的氣體被排出，從而產(chǎn)生減壓。

在往復(fù)式活塞油旋真空泵

中，活塞由于偏心轉(zhuǎn)子的旋轉(zhuǎn)而上下運(yùn)動(dòng)。氣缸內(nèi)的空氣被活塞壓縮并排出，從而降低壓力。

2. 干式泵

干式泵是一種清潔、非接觸式的真空泵，不使用油或液體。根據(jù)泵的設(shè)計(jì)，干式泵有很多種類型。

羅茨式干式真空泵

：這種泵采用羅茨式轉(zhuǎn)子，無需冷卻水，使用非常方便。

渦旋式干式真空泵的

工作原理是利用渦旋結(jié)構(gòu)，通過渦旋運(yùn)動(dòng)將空氣從外部壓縮并排出到內(nèi)部，從而產(chǎn)生真空。它結(jié)構(gòu)緊湊，具有真空度高、振動(dòng)小、噪音低、能效高等優(yōu)點(diǎn)。

爪式干式真空泵

使用兩個(gè)爪形轉(zhuǎn)子沿相反方向旋轉(zhuǎn)來產(chǎn)生真空。

隔膜式干式真空泵的

工作原理是利用稱為泵軸的活塞往復(fù)運(yùn)動(dòng)，從而帶動(dòng)隔膜上下運(yùn)動(dòng)，吸入和排出空氣。

其他類型

包括旋片式和活塞式。這些真空泵的結(jié)構(gòu)與油泵類似。