粒子計(jì)數(shù)器最常用的檢測原理是光散射法，它利用激光進(jìn)行探測。雖然具體機(jī)制會(huì)因被測物質(zhì)是氣體還是液體而有所不同，但通常采用以下測量方法。

1. 利用光散射法的測量機(jī)制

空氣（或液體）以恒定流速從設(shè)備內(nèi)部的“樣品供應(yīng)單元”吸入，激光則從“光照射單元”照射樣品。如果樣品中存在細(xì)小顆粒，光線會(huì)照射到這些顆粒上并發(fā)生散射。散射光被“檢測單元”中的光接收透鏡收集，并由光電倍增管或光電二極管等光接收元件轉(zhuǎn)換為電信號。

散射光的強(qiáng)度與顆粒的表面積（粒徑）成正比，散射光的產(chǎn)生次數(shù)與顆粒數(shù)量相對應(yīng)。通過分析電信號的脈沖幅度和脈沖數(shù)，該系統(tǒng)能夠?qū)崟r(shí)、精確地計(jì)數(shù)不同粒徑的顆粒數(shù)量。

2. 遮光型（液體計(jì)量）

在測量純水或化學(xué)溶液等液體中的不溶性細(xì)顆粒時(shí)，除了光散射法外，還可以使用光屏蔽法（光衰減法）。該測量方法通過檢測顆粒在光源和光接收單元之間通過時(shí)被阻擋的光量的減少來確定顆粒大小，適用于測量相對較大的顆粒。

粒子計(jì)數(shù)器的類型

它們大致根據(jù)被測量的介質(zhì)和操作方法進(jìn)行分類。

1. 空氣顆粒計(jì)數(shù)器

這些設(shè)備用于測量空氣中的顆粒物。它們有多種類型，包括便攜式手持型號，以及固定在潔凈室內(nèi)多個(gè)位置進(jìn)行24小時(shí)連續(xù)監(jiān)測的多點(diǎn)連續(xù)監(jiān)測系統(tǒng)（設(shè)施監(jiān)測系統(tǒng)）。

2. 液體粒子計(jì)數(shù)器

該設(shè)備用于測量半導(dǎo)體清洗用超純水、靜脈注射液和工業(yè)液壓油中所含的雜質(zhì)顆粒。它采用特殊的傳感器結(jié)構(gòu)，可以補(bǔ)償流體折射率和粘度的影響。

如何選擇粒子計(jì)數(shù)器

在準(zhǔn)確了解將要管理的標(biāo)準(zhǔn)和環(huán)境條件之后，有必要選擇合適的型號。

1. 確認(rèn)可測量的顆粒尺寸和可測量的顆粒濃度。

待測顆粒的最小粒徑（例如，0.1 μm、0.3 μm、0.5 μm 等）取決于潔凈室的潔凈度標(biāo)準(zhǔn)以及超純水和化學(xué)溶液的質(zhì)量控制標(biāo)準(zhǔn)。選擇可測量粒徑大于控制規(guī)格的設(shè)備可能會(huì)導(dǎo)致漏檢一些關(guān)鍵有害顆粒。此外，在潔凈度較低（顆粒濃度較高）的環(huán)境中使用高靈敏度設(shè)備會(huì)增加重合誤差（同時(shí)通過誤差）的風(fēng)險(xiǎn)，即多個(gè)顆粒被誤識(shí)別為一個(gè)顆粒。因此，選擇可測量顆粒濃度合適的設(shè)備至關(guān)重要，該設(shè)備應(yīng)具有足夠的測量上限裕度，以應(yīng)對環(huán)境中的預(yù)期濃度。

2. 符合計(jì)量單位和標(biāo)準(zhǔn)

國際標(biāo)準(zhǔn)，例如 ISO 14644-1 和美國聯(lián)邦標(biāo)準(zhǔn) (Fed.Std. 209E)，均用于評估潔凈度。因此，事先確認(rèn)設(shè)備輸出測量結(jié)果時(shí)的參考體積（單位）是每立方米 ( m3 ) 還是每立方英尺 ( ft3 ) 至關(guān)重要。然后，通過選擇符合所用潔凈室標(biāo)準(zhǔn)單位制的型號，或選擇具有單位轉(zhuǎn)換功能的型號，即可順利進(jìn)行數(shù)據(jù)管理。