真空密封技術用于生產(chǎn)對雜質、空氣或水分含量要求極高的產(chǎn)品,以確保產(chǎn)品質量。由于其利用流體磁力實現(xiàn)高效密封,因此常用于對真空度要求極高的制造行業(yè),例如半導體、太陽能電池和智能手機用有機發(fā)光二極管(OLED)面板的生產(chǎn)。
在這樣的生產(chǎn)條件下,需要節(jié)能和緊湊的生產(chǎn)設備,真空密封的應用范圍非常廣泛。
1. 半導體
在半導體制造中,真空密封被應用于濺射設備、化學氣相沉積設備和離子注入設備中。這些設備需要通過真空密封來營造高真空環(huán)境,以形成均勻的薄膜,并通過離子注入來控制半導體的電學性能。
2. 太陽能電池
它還用于單晶拉制設備,以制造太陽能電池生產(chǎn)所需的關鍵硅錠。硅錠制造過程在真空環(huán)境下進行,以防止灰塵和碎屑污染以及空氣氧化。真空密封用于維持設備內的真空環(huán)境。
3. 有機EL
在有機發(fā)光二極管(OLED)中,真空沉積形成OLED元件薄膜需要真空密封。近年來,隨著液晶顯示器對OLED需求的增長,對真空密封的需求也隨之增加。



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